校準驗證：使用前需用標準粗糙度樣塊（如 Ra=0.8μm、3.2μm 等常用值）進行校準，檢查儀器示值是否在允許誤差范圍內（通常≤±10%）。校準周期建議每 3 個月 1 次，或在更換測針、長期未使用后重新校準。
測針檢查：測針（通常為金剛石觸針，針尖半徑 2μm 或 5μm）是核心部件，需用放大鏡檢查是否有磨損、變形或松動。若測針損壞，會導致測量數據失真（如磨損針尖可能使 Ra 值偏小），需及時更換適配型號的測針。
電量與連接：便攜式儀器需確保電池電量充足，避免測量中突然斷電；臺式儀器需檢查電源連接穩定，數據線接口無松動（尤其是連接計算機的型號）。
表面清潔：去除樣品表面的油污、鐵屑、灰塵等雜質（可用無水乙醇擦拭），避免雜質卡住測針或干擾測量軌跡。
表面狀態評估：
測量區域需平整，無明顯劃痕、凹陷或凸起（若有，需避開或注明），否則會導致測針跳動，產生異常峰值。
對于曲面樣品（如軸類、球面），需確認曲率半徑是否符合儀器要求（通常曲率半徑≥5mm，過小需使用專用工裝固定），避免測針與表面接觸不良。
樣品固定：確保樣品穩固放置在工作臺上（可使用夾具或磁性吸盤），防止測量時樣品滑動，導致測針偏移或損壞。
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